日本精工(NSK)開發(fā)出超高真空環(huán)境耐久性更佳的面板搬運(yùn)機(jī)器人用軸承
2009-02-27
軸承行業(yè)資訊:日本精工(NSK) 超高真空環(huán)境耐久性 搬運(yùn)機(jī)器人用軸承
日本精工針對(duì)從事FPD等面板搬運(yùn)的真空機(jī)器人用途,開發(fā)出了在超高真空環(huán)境下耐久性更高的角接觸球軸承“真空機(jī)器人用固體潤滑角接觸球軸承”。此次通過重新開發(fā)保持架的機(jī)械裝置,成功實(shí)現(xiàn)了角接觸球軸承的固體潤滑。由此,不僅提高了耐久性,還可滿足日益大型化的真空機(jī)器人負(fù)荷容量增加的要求。耐久性達(dá)到以往固體潤滑軸承的5倍。
作為固體潤滑劑,采用了二硫化鎢類燒結(jié)合金,其脫氣量(從材料釋放出的分子的量,Outgas)僅為以往真空用潤滑脂的1/5~1/10以下?稍跍囟葹100℃(固體潤滑劑為350℃)、壓力最大為10-6Pa的超高真空環(huán)境下使用。
在新的機(jī)械裝置中,襯套可相對(duì)于滾珠及滾動(dòng)面進(jìn)行滑動(dòng)。另外,通過將油兜配置在接觸角(滾珠受力的作用線方向)位置,提高了軸承潤滑的效率。